極薄Fe酸化膜のラマン分光分析
ラマン分光分析はレーザーが侵入する範囲の物質の測定をすることが可能です。
金属にはレーザーが侵入しないため、金属表面の極薄酸化膜の分析が可能です。
今回、純鉄表面の薄い酸化膜についてラマン分光分析を行い、AES分光分析とXRDの結果を踏まえ、その有効性を評価しました。
分析方法
供試材：純鉄を研磨し 熱処理時間を変えて酸化処理。→薄い酸化膜を形成
（１）ラマン分光分析
測定波長：532nmレーザー
測定時間：4分
（露光時間：2分 積算2回）
（２）AES分光分析
ラマン分光分析と同一箇所での酸化膜厚みを測定
（３）XRD分析
薄膜測定 入射角度 0.5°
