大同分析リサーチ

事業案内
contents
化学分析
物理測定
有機分析
試料作製
材料評価
環境測定・分析
作業環境測定登録講習
分析事例
設備一覧
物理測定
お問い合わせ
物理測定

 分析試験設備紹介
 表面・構造分析装置:03-02--電界放出型 走査型電子顕微鏡(FE-SEM)--

S-4700 SU6600
装置外観(左:日立製 S-4700 右:日立製 SU6600)
 原理 固体試料表面に電子線を照射し、試料から発生する二次電子、反射電子、
特性X線を検出して観察・分析を行う。
 用途 @光学顕微鏡に比べ焦点深度が深い
A試料の形態、破断面、微細領域の観察
B観察部分の化学成分組成の定性分析
装置仕様
装置名 S-4700 SU6600
 加速電圧  0.5〜30kV  0.5〜30kV
 二次電子分解能  1.5nm(加速電圧15kV)  1.2nm
 (加速電圧30kV高真空モード)
 2.5nm(加速電圧1kV)  3.0nm
 (加速電圧1kV高真空モード)
 反射電子分解能  3.0nm(加速電圧15kV)  3.5nm
 (加速電圧30kV高真空モード)
 倍率  X20〜500,000  X20〜600,000
 分析元素  5B〜92U  5B〜92U
事例紹介
 SU6600の事例1  無蒸着の蟻を観察
 SU6600の事例2  絶縁物である電子部品を観察
 SU6600の事例3  木材を電子顕微鏡で観察観察
 走査電子顕微鏡の事例  鐵鋼中の非金属介在物調査、アスベスト調査
株式会社大同分析リサーチ 〒457-8545 名古屋市南区大同町2丁目30番地 TEL052-611-9434 FAX052-611-9948