分析試験設備紹介
表面・構造分析装置：03-02--電界放出型 走査型電子顕微鏡（FE-SEM）--
装置外観（左：JEOL JSM-F100 右：日立製 SU6600）
原理
固体試料表面に電子線を照射し、試料から発生する二次電子、反射電子、
特性Ｘ線を検出して観察・分析を行う。
用途
①光学顕微鏡に比べ焦点深度が深い
②試料の形態、破断面、微細領域の観察
③観察部分の化学成分組成の定性分析
装置仕様
装置名
JSM-F100
SU6600
加速電圧
0.5～30kV
0.5～30kV
二次電子分解能
0.9nm（加速電圧20kV）
1.2nm
（加速電圧30kV高真空モード）
1.3nm（加速電圧1kV）
3.0nm
（加速電圧1kV高真空モード）
倍率
X10～1,000,000
X20～600,000
分析元素
5
B～
92
U
5
B～
92
U
事例紹介
SU6600の事例1
無蒸着の蟻を観察
SU6600の事例2
絶縁物である電子部品を観察
SU6600の事例3
木材を電子顕微鏡で観察
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