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 分析試験設備紹介
 表面・構造分析装置:03-02--電界放出型 走査型電子顕微鏡(FE-SEM)--

JFOL JSM-F100 SU6600
装置外観(左:JFOL JSM-F100 右:日立製 SU6600)
 原理 固体試料表面に電子線を照射し、試料から発生する二次電子、反射電子、
特性X線を検出して観察・分析を行う。
 用途 @光学顕微鏡に比べ焦点深度が深い
A試料の形態、破断面、微細領域の観察
B観察部分の化学成分組成の定性分析
装置仕様
装置名 JSM-F100 SU6600
 加速電圧  0.5〜30kV  0.5〜30kV
 二次電子分解能  0.9nm(加速電圧20kV)  1.2nm
 (加速電圧30kV高真空モード)
 1.3nm(加速電圧1kV)  3.0nm
 (加速電圧1kV高真空モード)
 倍率  X10〜1,000,000  X20〜600,000
 分析元素  5B〜92U  5B〜92U
事例紹介
 SU6600の事例1  無蒸着の蟻を観察
 SU6600の事例2  絶縁物である電子部品を観察
 SU6600の事例3  木材を電子顕微鏡で観察
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