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 分析試験設備紹介
 表面・構造分析装置:03-03--電子プロ−ブマイクロアナライザー(EPMA)--

JXA-88230 EPMA-1600
装置外観(左:JEOL製 JXA-8230 右:島津製 EPMA-1600)
 原理 真空中で試料に4nm〜100μmの電子ビームを照射、測定部位から発生する特性X線、反射電子、二次電子などの強度を測定し、 元素の分布等を観察する。
 用途 @元素の偏析、マッピング調査
A元素間の濃淡比較
B表面分析
装置仕様
装置名 JXA−8230 EPMA-1600
 加速電圧  0.2〜30kV  0.5〜30kV
 照射電流  1×10-12 〜 1×10-6A  1×10-12 〜 2×10-7A
 分析元素  5B〜92U  5B〜92U
 WDX
(波長分散X線分光法)装着数
 5チャンネル  5チャンネル
 EDS
(エネルギー分散X線分光法)
 8元素同時分析 -
 X線取り出し角度  40°  52.5°
 面分解能  1μm  1μm
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