分析試験設備紹介
表面・構造分析装置：03-03--電子プロ－ブマイクロアナライザー（EPMA）--
装置外観（左：JEOL製 JXA-8230 右：島津製 EPMA-1600）
原理
真空中で試料に4nm～100μmの電子ビームを照射、測定部位から発生する特性X線、反射電子、二次電子などの強度を測定し、 元素の分布等を観察する。
用途
①元素の偏析、マッピング調査
②元素間の濃淡比較
③表面分析
装置仕様
装置名
JXA－8230
EPMA-1600
加速電圧
0.2～30kV
0.5～30kV
照射電流
1×10
-12
～ 1×10
-6
A
1×10
-12
～ 2×10
-7
A
分析元素
5B～92U
5B～92U
WDX
（波長分散Ｘ線分光法）装着数
5チャンネル
5チャンネル
EDS
（エネルギー分散Ｘ線分光法）
8元素同時分析
-
X線取り出し角度
40°
52.5°
面分解能
1μm
1μm
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