分析試験設備紹介
表面・構造分析装置:03-03--電子プロ−ブマイクロアナライザー(EPMA)--
装置外観(左:JEOL製 JXA-8230 右:島津製 EPMA-1600)
原理
真空中で試料に4nm〜100μmの電子ビームを照射、測定部位から発生する特性X線、反射電子、二次電子などの強度を測定し、 元素の分布等を観察する。
用途
@元素の偏析、マッピング調査
A元素間の濃淡比較
B表面分析
装置仕様
装置名
JXA−8230
EPMA-1600
加速電圧
0.2〜30kV
0.5〜30kV
照射電流
1×10
-12
〜 1×10
-6
A
1×10
-12
〜 2×10
-7
A
分析元素
5B〜92U
5B〜92U
WDX
(波長分散X線分光法)装着数
5チャンネル
5チャンネル
EDS
(エネルギー分散X線分光法)
8元素同時分析
-
X線取り出し角度
40°
52.5°
面分解能
1μm
1μm
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