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 FE-EPMAの新設-1
 Field Emission Electron Probe Micro Analyser:電界放出型電子プローブマイクロアナライザ

弊社は2004年11月に民間では第1号となる最新鋭の日本電子製 JXA-8500F型FE-EPMAを新たに導入しました。
従来のEPMA(TE-EPMA)は熱電子放出型で、ビーム径が十分に絞れず、微小面積の分析に限界があり、極表層部の分析もあまり得意ではありませんでした。
この度導入したFE-EPMA は、電界放出型電子銃の採用で、小さな光源が可能になり分解能を大幅に改善しました。 これにより、更に微小面積の分析が可能となりました。
、また、低加速電圧での分析が可能となり、極表層部の分析が可能になりました。
>>本装置の特長
これらの特長を有するFE-EPMAは、元素のマッピングにより、 極めて微細な析出物や介在物の同定、及び 粒界偏析の調査等が可能となりました。
FE-EPMA
FE-EPMAによる解析事例 >>詳細へ
1.クロムステンンレス(Cr-SUS)の微細析出物の解析結果
2.耐熱鋼の結晶粒界に析出したフィルム状粒界析出物の解析結果
以上の解析事例に示しました様に、従来のEPMAでは解析が十分に出来なかった非常に微細(≦1μm)な析出物や粒界偏析等の解析が新型EPMAでは可能です。
皆様のご利用をお待ちしております。
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