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 分析試験設備紹介
 表面・構造分析装置:03-05--オージェ電子分光分析装置(AES)--

VG-310F
装置外観(アルバックファイ社製 PHI700Xi)
  オージェ電子分光分析装置
 原理 試料表面に電子線を照射、試料より元素に固有の電子の放出(オージェ電子)がある、この電子のエネルギーは元素固有の運動エネルギーを持つため、このエネルギーのスペクトルを測定し、元素分析を行なう。
 用途 @極表層の元素情報の取り出し、表面分析
A酸化膜、吸着ガス、汚染分析
Bイオンでスパッタし、深さ分析も可能
装置仕様
 装置名 オージェ電子分光分析装置
 分析径 ≦8nm
 分析深さ 2nm
 検出元素 3Li〜92U
事例紹介
 事例1  微小領域観察
 事例2  凹凸物質測定
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