薄膜ターゲット・新金属
あらゆる可能性を無限に追求する大同の薄膜・電子部材
特殊鋼を通じて培った高度な溶解～加工技術、充実した生産設備によって素材に適した製造プロセスを確立。
時代を先取った新製品開発、技術的なグレード･アップの要求にもお応えするスパッタリングターゲットを始めとした高機能材料・電子材料をご提案して参ります。
高機能･高精度な薄膜技術、表面加工改質へのニーズが高まる中、さまざまな分野でユーザーの皆様のお役に立つ製品を提供することをお約束いたします。
- ターゲット材
- 新金属
高純度、均一組織、高密度、低ガス成分のターゲット材料・蒸着材料
用途、製造方法、要求される性能などに応じ、さまざまなタイプのターゲット材料・蒸着材料をご用意します。
| 用途 | 純度 | 材質 | ||
|---|---|---|---|---|
磁気記録用薄膜 |
3N～4N |
Ni |
Co | Fe |
Ni合金 |
Co合金 | Cr | ||
Cr合金
|
||||
表示用薄膜 |
3N～4N |
Cr |
Mo | Ta |
Ag合金
|
||||
半導体・電子部品用薄膜 |
3N～6N |
Mo |
Ta | W |
Ti
|
Ni | |||
光磁気記録用薄膜 |
3N |
Gd-Fe-Co |
Tb-Fe-Co | Al-Ti |
Al-Cr
|
Al-V | |||
装飾用薄膜、表面硬化用薄膜 |
2N～3N |
Ni-Cr-Mo |
Zr | Hf |
Ti-Al |
Ti-Al-V | Cr | ||
Ti
|
||||
抵抗用薄膜 |
3N |
Ni-Cr
|
Ni-V | |
- 上記以外の材質形状、パッキングプレートの制作、ボンディング加工のご要望にもお応えいたします。お気軽にご相談下さい。
耐熱性・耐食性に優れた材料および特殊合金材料
耐熱性・耐食性に優れた極限の材料として注目されている材料を、特殊鋼の製造技術を活用して製造します。
| 特長 | 物性 | ||
|---|---|---|---|
タンタル (Ta) |
耐酸性が非常に高い。耐酸性はPtに次いで良い。 |
融点 |
2996℃ |
高温強度が高い。 |
比重 |
16.6 |
|
誘電特性が良い。 |
結晶型 |
体心立方格子 |
|
酸素、窒素等との親和力が強い (ゲッター性)。 |
ヤング率 |
18,200kgf/mm2 |
|
ニオブ (Nb) |
耐酸性はTaに次いで良い。 |
融点 |
2468℃ |
高温強度が高い。 |
比重 |
8.4 |
|
酸素、窒素等との親和力が強い (ゲッター性)。 |
結晶型 |
体心立方格子 |
|
ヤング率 |
10,700kgf/mm2 |
||
ジルコニウム(Zr) |
耐食性が良く、特に、酸とアルカリに強い。 |
融点 |
1852℃ |
発火性が強い。 |
比重 |
6.5 |
|
中性子吸収断面積が小さい。 |
結晶型 |
稠密六方格子 |
|
ヤング率 |
10,100kgf/mm2 |
||
モリブデン (Mo) |
耐熱性が非常に高く、Ta、Nbよりも加工性は劣るが割安である。 |
融点 |
2610℃ |
比重 |
10.2 |
||
耐食性も良く、塩酸、溶融金属(Zn,Al,Na等)に良く耐える。 |
結晶型 |
体心立方格子 |
|
ヤング率 |
33,100kgf/mm2 |
||
タングステン (W) |
金属の中で融点、比重が高い。 |
融点 |
3410℃ |
高温強度が高い。 |
比重 |
19.3 |
|
結晶型 |
体心立方格子 |
||
ヤング率 |
41,500kgf/mm2 |
||
Hf、Vその他のレアメタルおよび合金についても、ご相談ください。
スパッタリングターゲット、密着材についても、ご相談ください。
耐食性
| 分類 | 薬品 | 濃度％ | タンタル | ニオブ | ジルコニウム | SUS316 ステンレス鋼 |
DSalloy HC |
チタン |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 無機酸 | 塩酸 | ≦35 |
◎ |
◎ |
◎ |
△ |
○ |
△ |
| 硫酸 | ≦95 |
◎ |
○ |
△ |
△ |
◎ |
△ |
|
| 硝酸 | ≦68 |
◎ |
◎ |
◎ |
◎ |
○ |
◎ |
|
| リン酸 | ≦85 |
◎ |
◎ |
◎ |
◎ |
◎ |
○ |
|
| 王水 | HCl+HNO3 |
◎ |
◎ |
△ |
△ |
◎ |
◎ |
|
| 弗化水素酸 | ≦43 |
△ |
△ |
△ |
△ |
△ |
△ |
|
| 有機酸 | 酢酸 | 100 |
◎ |
◎ |
◎ |
◎ |
◎ |
◎ |
| 蟻酸 | 50 |
◎ |
◎ |
◎ |
△ |
◎ |
◎ |
|
| アルカリ | 苛性ソーダ | 20 |
◎ |
◎ |
◎ |
◎ |
○ |
◎ |
40 |
△ |
△ |
◎ |
◎ |
- |
◎ |
||
| 塩化物 | 塩化第二鉄 | 30 |
◎ |
◎ |
△ |
△ |
○ |
◎ |
塩化 ナトリウム |
20℃飽和 |
◎ |
- |
◎ |
○ |
◎ |
◎ |
|
塩化 マグネシウム |
42 |
◎ |
- |
◎ |
◎ |
◎ |
◎ |
|
| ガス 腐食性 |
塩素ガス | wet |
◎ |
◎ |
△ |
△ |
- |
◎ |
| 塩素水 | ガス飽和 |
◎ |
◎ |
△ |
△ |
○ |
◎ |
※温度は室温、浸食度◎：0.13mm/年以下、○：0.13～1.3mm/年、△：1.3mm/年以上
用途例
| 耐食性 | 化学プラント（容器、バルブ配管等）、ノズル、熱電対保護管等 |
|---|---|
| 耐熱性 | 真空装置部品（ヒーター、ボート、ルツボ、ホルダー等） |
| その他 | 冷陰極管材、ゲッター材等 |
