あらゆる可能性を無限に追求する大同の薄膜・電子部材
特殊鋼を通じて培った高度な溶解～加工技術、充実した生産設備によって素材に適した製造プロセスを確立。
時代を先取った新製品開発、技術的なグレード･アップの要求にもお応えするスパッタリングターゲットを始めとした高機能材料・電子材料をご提案いたします。
高機能･高精度な薄膜技術、表面加工改質へのニーズが高まる中、さまざまな分野でユーザーの皆様のお役に立つ製品を提供することをお約束いたします。
ターゲット材
高純度、均一組織、高密度、低ガス成分のターゲット材料・蒸着材料
用途、製造方法、要求される性能などに応じ、さまざまなタイプのターゲット材料・蒸着材料をご用意します。
ラインアップ
スパッタリングターゲット・蒸着材料
| 材質 |
合金 取扱 |
純度 | 主な用途 | ||||||||||
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3N 99.9% |
3N5 99.95% |
4N 99.99% |
≧4N ≧99.99% |
硬質摺動 | 装飾 | 配線 | 耐食 | 密着 | 拡散防止 | 光学 | |||
| Ni | あり | ● | ● | ● | 〇 | 〇 | 〇 | ||||||
| Ti | あり | ● | ● | ●(4N5) | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 高屈折 | |||
| Cu | あり | ● | 〇 | ||||||||||
| Cr | あり | ● | ● | ● | 〇 | 〇 | 〇 | ||||||
| Al | 一部 | ● | ●(5N5) | 〇 | |||||||||
| Si | 一部 | ●(5N) | ガスバリア | 低屈折 | |||||||||
| Nb | なし | ● | 〇 | 高屈折 | |||||||||
| Mo | なし | ●(3N7) | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |||||||
その他の純金属（Fe4N、Ta、Zr、Hf、C（グラファイト）、WC等）バッキングプレートなど
イオンプレーティング用ターゲット
| ターゲット材質 | ||||||
| Ti | Ti-Al | Ti-X※ | Ti-Al-X※ |
※X=添加元素 (B,C,Co,Cr,Mo,Si,V,W,Nb,ZrNi 他) |
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| Cr | Cr-Al | Cr-X※ | Cr-Al-X※ | |||
その他の純金属（Zr、WC等）、フィラメントなど
形状例
幅50～300㎜ｘ長さ300～3000㎜
φ1～12インチ/φ25～350㎜
外径100～180㎜ｘ長さ500～2000㎜
例：φ50mm、10x10x10mm、φ13x10m
ご使用の装置に合わせた最適な形状に加工いたします。上記寸法以外もお問い合わせ下さい。
工程例
オリジナル製品
市場のニーズに合わせたオリジナル製品を提供しています。
当社の成膜機を使った試作や、成膜サンプルの提供もいたします。
保護膜用ターゲット材「NCT」(エヌ・シー・ティー)
| 用途 | CuまたはAl配線の保護膜(タッチパネル、TFT等) | |||||||||||||
| 種類 | スパッタリングターゲット | |||||||||||||
| 特長 |
耐食性・エッチング性 保護膜としてCuまたはAl配線の耐食性を向上させます。 
ターゲット材外観 NCTバリア膜(本製品) 
Moバリア膜(比較用) 
耐湿試験：85℃、85RH、500時間 |
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| 使用例 |
タッチパネル引出配線
引出配線の膜構成例(断面)
単層パターニングサンプル
(最小線幅2μm) |
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| 製品紹介 | 電気製鋼第89巻2号 車載向けタッチパネルに適した配線保護膜用ターゲット材(NCT)(PDF:1,233KB) |
黒化膜用ターゲット材「STARMESH®」(スターメッシュ)
| 用途 | CuまたはAl配線・メタルメッシュ電極の黒化膜（タッチパネル・TFT等） | |||||||||||
| 種類 | スパッタリングターゲット | |||||||||||
| 特長 |
低反射、エッチング性 CuまたはAl配線と組み合わせることで、配線の反射率を低減できます。 
ターゲット材外観
パターニングサンプル
（最小線幅3μm） 
反射率
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| 使用例 |
タッチパネルのメタルメッシュ電極 
メタルメッシュ電極の膜構造例(断面)
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| 製品紹介 | 電気製鋼第86巻2号 メタルメッシュ用スパッタリングターゲット材(PDF:466KB) |
金型用ターゲット材「STAR-TM3®」(スター・ティーエムキューブ)
| 用途 | 金型用硬質コーティング皮膜 |
| 種類 | イオンプレーティング用ターゲット |
| 特長 |
高硬度・高密着 硬さと密着性を兼ね備えた硬質皮膜が成膜できます。 
ターゲット材外観
成膜後外観
硬さと密着性
(ﾃﾞｰﾀ提供：東北特殊鋼(株)) |
| 使用例 |
金型への適用事例(成膜、データ提供：東北特殊鋼(株)) 
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| 製品紹介 | 特殊鋼67巻4号 高硬度･高密着コーティング皮膜に適したPVD用ターゲット材｢STAR-TM3｣(PDF:4314,KB) |
切削工具・金型用ターゲット材「STAR-CZ3」(スター・シーゼットキューブ)
| 用途 | 切削工具・金型用硬質コーティング皮膜 |
| 種類 | イオンプレーティング用ターゲット |
| 特長 |
高硬度・高密着・高耐熱 硬さと密着性を兼ね備え、耐熱性の高い硬質皮膜を成膜できます。 
ターゲット材外観
成膜後外観
硬さと耐熱性
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| 使用例 |
切削工具(エンドミルの切削試験結果） 
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| 製品紹介 | 電気製鋼第91巻1号 高速切削用工具に適したハードコート用ターゲット｢STAR-CZ3｣(PDF:1,253KB) |
長尺Siターゲット
| 用途 | 反射防止膜、タッチパネル等 |
| 純度 | 5N |
| 特徴 | 最大1,400ミリの板状Siターゲットです。ターゲットを分割する必要がなく、つなぎ目のない一体型ターゲットが製造できます。高抵抗品、低抵抗品ともに対応可能です。 |
内容を確認後、連絡させていただきます。