薄膜ターゲット

薄膜ターゲット

大同特殊鋼の薄膜ターゲット

工具、金型、FPD、半導体など幅広い分野に、スパッタリングや蒸着法など薄膜形成方法に応じた材料を提供します。

文字のサイズ

あらゆる可能性を無限に追求する大同の薄膜・電子部材

特殊鋼を通じて培った高度な溶解~加工技術、充実した生産設備によって素材に適した製造プロセスを確立。
時代を先取った新製品開発、技術的なグレード・アップの要求にもお応えするスパッタリングターゲットを始めとした高機能材料・電子材料をご提案いたします。
高機能・高精度な薄膜技術、表面加工改質へのニーズが高まる中、さまざまな分野でユーザーの皆様のお役に立つ製品を提供することをお約束いたします。

ターゲット材

高純度、均一組織、高密度、低ガス成分のターゲット材料・蒸着材料

用途、製造方法、要求される性能などに応じ、さまざまなタイプのターゲット材料・蒸着材料をご用意します。

薄膜ターゲット

ラインアップ

スパッタリングターゲット・蒸着材料

材質 合金
取扱
純度 主な用途
3N
99.9%
3N5
99.95%
4N
99.99%
≧4N
≧99.99%
硬質摺動 装飾 配線 耐食 密着 拡散防止 光学
Ni あり
Ti あり (4N5) 高屈折
Cu あり
Cr あり
Al 一部 (5N5)
Si 一部 (5N) ガスバリア 低屈折
Nb なし 高屈折
Mo なし (3N7)

その他の純金属(Fe4N、Ta、Zr、Hf、C(グラファイト)、WC等)バッキングプレートなど

イオンプレーティング用ターゲット

ターゲット材質
Ti Ti-Al Ti-X※ Ti-Al-X※ ※X=添加元素
(B,C,Co,Cr,Mo,Si,V,W,Nb,ZrNi 他)
Cr Cr-Al Cr-X※ Cr-Al-X※

その他の純金属(Zr、WC等)、フィラメントなど

形状例

平板ターゲット材
平板ターゲット材
幅50~300㎜x長さ300~3000㎜
円盤ターゲット材
円盤ターゲット材
φ1~12インチ/φ25~350㎜
円筒ターゲット材
円筒ターゲット材
外径100~180㎜x長さ500~2000㎜
蒸着用インゴット・ペレット
蒸着用インゴット・ペレット
例:φ50mm、10x10x10mm、φ13x10m

ご使用の装置に合わせた最適な形状に加工いたします。上記寸法以外もお問い合わせ下さい。

工程例

工程表

オリジナル製品

市場のニーズに合わせたオリジナル製品を提供しています。
当社の成膜機を使った試作や、成膜サンプルの提供もいたします。

保護膜用ターゲット材「NCT」(エヌ・シー・ティー)

用途 CuまたはAl配線の保護膜(タッチパネル、TFT等)
種類 スパッタリングターゲット
特長

耐食性・エッチング性

保護膜としてCuまたはAl配線の耐食性を向上させます。
市販の薬液を用いて配線と一括エッチング可能です。
また窒化膜にすることで拡散防止性、密着性向上が可能です。


ターゲット材外観

ターゲット材外観

NCTバリア膜(本製品)

NCTバリア膜(本製品)

Moバリア膜(比較用)

Moバリア膜(比較用)

耐湿試験:85℃、85RH、500時間

使用例

タッチパネル引出配線

バリア層(耐腐食) NCT … 20nm
配線層 Cu/Al … 150nm
バリア層(密着) (NCT) …(20nm)
ITO層 ITO
基板 Film/Glass
引出配線の膜構成例(断面)
単層パターニングサンプル
(最小線幅2μm)
製品紹介 電気製鋼第89巻2号 車載向けタッチパネルに適した配線保護膜用ターゲット材(NCT)(PDF:1,233KB)

黒化膜用ターゲット材「STARMESH®」(スターメッシュ)

用途 CuまたはAl配線・メタルメッシュ電極の黒化膜(タッチパネル・TFT等)
種類 スパッタリングターゲット
特長

低反射、エッチング性

CuまたはAl配線と組み合わせることで、配線の反射率を低減できます。
市販の薬液を用いて配線と一括エッチング可能です。

ターゲット材外観
ターゲット材外観
パターニングサンプル(最小線幅10μm)
パターニングサンプル
(最小線幅3μm)
反射率
反射率
使用例

タッチパネルのメタルメッシュ電極

黒化膜 STARMESH … 50nm
配線層 Cu/Al … 150nm
黒化膜 STARMESH …(50nm)
基板 Film/Glass
メタルメッシュ電極の膜構造例(断面)
製品紹介 電気製鋼第86巻2号 メタルメッシュ用スパッタリングターゲット材(PDF:466KB)

金型用ターゲット材「STAR-TM3®」(スター・ティーエムキューブ)

用途 金型用硬質コーティング皮膜
種類 イオンプレーティング用ターゲット
特長

高硬度・高密着

硬さと密着性を兼ね備えた硬質皮膜が成膜できます。

ターゲット材外観
ターゲット材外観
成膜後外観
成膜後外観
堅さと密着性
堅さと密着性
(データ提供:東北特殊鋼(株))
使用例

金型への適用事例(成膜、データ提供:東北特殊鋼(株))

加工事例1~3
製品紹介 特殊鋼67巻4号 高硬度・高密着コーティング皮膜に適したPVD用ターゲット材「STAR-TM3」(PDF:8,714KB)

切削工具・金型用ターゲット材「STAR-CZ3」(スター・シーゼットキューブ)

用途 切削工具・金型用硬質コーティング皮膜
種類 イオンプレーティング用ターゲット
特長

高硬度・高密着・高耐熱

硬さと密着性を兼ね備え、耐熱性の高い硬質皮膜を成膜できます。

ターゲット材外観
ターゲット材外観
成膜後外観
成膜後外観
堅さと密着性
堅さと密着性
使用例 切削工具(エンドミルの切削試験結果)
切削工具(エンドミルの切削試験結果)
製品紹介 電気製鋼第91巻1号 高速切削用工具に適したハードコート用ターゲット「STAR-CZ3」(PDF:1,253KB)

長尺Siターゲット

用途 反射防止膜、タッチパネル等
純度 5N
特徴 最大1,400ミリの板状Siターゲットです。ターゲットを分割する必要がなく、つなぎ目のない一体型ターゲットが製造できます。高抵抗品、低抵抗品ともに対応可能です。

薄膜ターゲットに関する お問い合わせ

薄膜電子部材室
電話番号をタップすると
お電話をかけられます
東京
03-5495-1256
名古屋
052-611-9501
受付時間:9:00〜17:00
(土日祝、年末年始除く)
受付時間:9:00〜17:00(土日祝、年末年始除く)