特長
タッチパネル・ディスプレイ用に市場ニーズに合わせたオリジナル製品を提供しています。
当社の成膜機を使った試作や、成膜サンプルの提供もいたします。
耐食性・エッチング性
保護膜としてCuまたはAl配線の耐食性を向上させます。
市販の薬液を用いて配線と一括エッチング可能です。
また窒化膜にすることで拡散防止性、密着性向上が可能です。
ターゲット材外観
NCT保護膜(本製品)
Mo保護膜(比較用)
環境試験：85℃、85RH、500時間後
主な用途
CuまたはAl配線の保護膜(タッチパネル、TFT等)
種類:スパッタリングターゲット
タッチパネル引出配線
引出配線の膜構成例(断面)
単層パターニングサンプル
(最小線幅2μm)
製品一覧