特長
タッチパネル・ディスプレイ用に市場ニーズに合わせたオリジナル製品を提供しています。
当社の成膜機を使った試作や、成膜サンプルの提供もいたします。
低反射、エッチング性
CuまたはAl配線と組み合わせることで、配線の反射率を低減できます。
市販の薬液を用いて配線と一括エッチング可能です。
ターゲット材外観
パターニングサンプル
（最小線幅3μm）
反射率
主な用途
CuまたはAl配線・メタルメッシュ電極の黒化膜(タッチパネル・TFT等)
種類:スパッタリングターゲット
タッチパネルのメタルメッシュ電極
メタルメッシュ電極の膜構造例(断面)
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