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半導体製造装置用材料：耐食合金
耐食材料(耐食合金・チタン合金)マップ
ラインナップ
より耐食性を要求される部材に適用します。
| 合金名 | UNS合金記号 (JIS合金記号) |
相当 合金 |
適用部材例 (※) |
可能製造形状 | 相当規格 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 棒 | 線 | 帯 | ASTM | JIS | ||||
| DSALOY200 | N02200 (NW2200) |
Nickel200 | 濾材・ガスケット | ◎ | ◎ | ◎ | B160 B162 |
G4902 H4553 H4554 |
| DSALOY201 | N02201 (NW2201) |
Nickel201 | 濾材・ガスケット | ◎ | ◎ | ◎ | B160 B162 |
G4902 H4553 H4554 |
| DSALOY400 | N04400 (NW4400) |
Monel400 | シール | ◎ | ◎ | ◎ | B127 B164 B564 |
G4902 H4553 H4554 |
| DSALOYK-500 | N05500 (NW5500) |
- | バルブ・継手 | 〇 | - | - | B865 | H4553 |
| DSALOY600 | N06600 (NCF600) |
Inconel 600 | バルブ・レギュレーター ダイヤフラム |
◎ | ◎ | ◎ | B166 B168 B564 |
G4901 G4902 |
| DSA760 | - | - | ○ | ◎ | - | - | - | |
| DSALOY625 | N06625 (NCF625) |
Inconel 625 | バルブ・継手・管 | ◎ | ◎ | ◎ | B443 B446 B564 |
G4901 G4902 |
| DSALOYC-276 | N10276 (NW0276) |
Hastelloy C-276 | バルブ・継手・管 | ◎ | ◎ | ◎ | B564 B574 B575 |
G4902 H4553 H4554 |
| DSALOY22 | N06022 (NW6022) |
Hastelloy C-22 | バルブ・継手・管 ダイヤフラム |
◎ | ◎ | ◎ | B564 B574 B575 |
G4902 H4553 H4554 |
| DSALOYCB3 | N08020 | - | バルブ・継手 | ◎ | ◎ | - | B472 B473 |
- |
- ※適用部材例は実施例及びSEMI F105(Guide for Metallic Material Compatibility in Gas Distribution Systems.)から抜粋しています。
- ※詳細の可能製造形状については個別にお問い合わせ下さい。
◎：標準製品 〇：製造可能商品 -：製品対象外 - ※Nickel、Monel、InconelはSpecial Metals Corporationの登録商標です。
- ※HastelloyはHaynes International,Inc.の登録商標です。
化学成分
| 合金名 | UNS合金記号 (JIS合金記号) |
相当 合金 |
化学成分(wt%) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Ni | Cr | Mo | Co | Fe | その他 | |||
| DSALOY200 | N02200 (Nw2200) |
Nickel200 | ≧99.0 | - | - | - | ≦0.4 | C≦0.15 Cu≦0.2 |
| DSALOY201 | N02201 (NW2201) |
Nickel201 | ≧99.0 | - | - | - | ≦0.4 | C≦0.02 Cu≦0.2 |
| DSALOY400 | N04400 (NW4400) |
Monel400 | ≧63.0 | - | - | - | ≦2.5 | Cu 28.0-34.0 |
| DSALOYK-500 | N05500 (NW5500) |
- | Bal. | - | - | - | ≦2.0 | Cu 27.0-34.0 Al 2.2-3.2 Ti 0.35-0.85 |
| DSALOY600 | N06600 (NCF600) |
Inconel 600 | ≧72.0 | 14.0- 17.0 |
- | - | 6.0-10.0 | Cu≦0.50 |
| DSA760 | - | - | bal. | (38) | - | - | - | (Al 3.8) |
| DSALOY625 | N06625 (NCF625) |
Inconel 625 | ≧58.0 | 20.0-23.0 | 8.0-10.0 | ≦1.0 | ≦5.0 | Al≦0.40 Ti≦0.40 Nb+Ta 3.15-4.15 |
| DSALOY C-276 | N10276 (NW0276) |
Hastelloy C-276 | bal. | 14.5-16.5 | 15.0-17.0 | ≦2.5 | 4.0-7.0 | W 3.0-4.5 V≦0.35 |
| DSALOY 22 | N06022 (NW6022) |
Hastelloy C-22 | bal. | 20.0-22.5 | 12.5-14.5 | ≦2.5 | 2.0-6.0 | W 2.5-3.5 V≦0.35 |
| DSALOYCB3 | N08020 | - | 32.0-38.0 | 19.0-21.0 | 2.0-3.0 | - | bal. | Cu 3.0-4.0 Nb≦1.0 |
- ※Nickel、Monel、InconelはSpecial Metals Corporationの登録商標です。
- ※HastelloyはHaynes International,Inc.の登録商標です。
その他特徴
| 合金名 | 熱処理 | 引張強さ (N/mm2) |
伸び (%) |
|---|---|---|---|
| DSALOY200 | A | ≧380 | ≧30 |
| DSALOY201 | A | ≧340 | ≧30 |
| DSALOY400 | A | ≧480 | ≧35 |
| DSALOYK-500 | ST+AG | ≧830 | ≧15 |
| DSALOY600 | A | ≧550 | ≧30 |
| DSA760 | ST+AG | ≧1,500 | - |
| DSALOY625 | A | ≧760 | ≧30 |
| DSALOY C-276 | A | ≧690 | ≧40 |
| DSALOY 22 | A | ≧690 | ≧45 |
| DSALOYCB3 | ST | ≧550 | ≧30 |
| 合金名 | 合金の一般特性 |
|---|---|
| DSALOY200 | 一般的な純Niの展伸材で、良好な機械的特性と多くの腐食性媒体に優れた耐食性があります。 |
| DSALOY201 | DSALOY200と同様な純Niの展伸材ですが、C%が低いので300℃以上の温度でのCによる脆化がなく、冷間加工性も優れています。 |
| DSALOY400 | 古くから広く使われているNi合金の一つです。強度があり加工性が良く海水・酸・アルカリなど広範囲な耐食性にも優れています。 |
| DSALOYK-500 | DSALOY400と同等な耐食性と高強度・高硬度をもった析出強化型合金で、-100℃の極低温でも完全非磁性です。 |
| DSALOY600 | 高温での耐酸化性が良く、Cl-イオンによる応力腐食割れに強く､高純水およびアルカリに対する耐食性にも優れています。 |
| DSA760 | 非磁性で高硬度・高耐食性を有する析出強化型のNi-Cr合金です。硬度はマルテンサイト系ステンレス鋼と同等レベルです。 |
| DSALOY625 | 熱処理なしで高強度を発揮する固溶強化型のNbを添加したNi-Cr-Mo合金で､広範の厳しい腐食環境に優れた耐食性があります。 |
| DSALOY C-276 | 広範な厳しい腐食環境に対して優れた耐食性があります。溶接性も良好です。 |
| DSALOY 22 | Wが添加されたNi-Cr-Mo合金で､還元性および酸化性双方の腐食環境で､あらゆる腐食に対して優れた耐食性があります。 |
| DSALOYCB3 | Cu､Mo､Nbを含むNi-Fe-Cr合金で､広範囲の酸を含む溶液中での全面腐食・孔食･隙間腐食･粒界腐食に対する耐食性に優れています。 |
耐食性比較(ABC評価)
| 材質 | 硫酸 (RT5%) |
硫酸 (Boil5%) |
塩酸 (RT36%) |
塩酸 (Boil1%) |
弗化水素酸 (50℃20%) |
燐酸 (boil85%) |
硝酸 (40℃6%) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| DSALOY 201 | B | B | C | C | A | C | C |
| DSALOY 22 | A | A | A | A | A | A | A |
| DSALOYC-276 | A | A | A | A | A | A | B |
| DSALOY 400 | B | A | B | A | A | A | C |
| DSALOY K-500 | B | A | B | A | A | A | C |
| DSALOY 600 | B | B | C | B | B | B | C |
| DSALOY 625 | A | A | A | A | B | A | A |
| DSA760 | A | C | C | B | A | C | B |
| DSALOYCB3 | A | A | B | B | A | B | A |
| SUS304 | B | C | C | C | C | B | A |
| SUS316 | A | B | B | C | C | C | A |
A 腐食無し(使用可)、B 多少の腐食、C 腐食発生(使用不可)
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