オリジナル製品(ディスプレイ用)
タッチパネル・ディスプレイ用に市場ニーズに合わせたオリジナル製品を提供しています。
当社の成膜機を使った試作や、成膜サンプルの提供もいたします。
保護膜用ターゲット材「NCT」(エヌ・シー・ティー)
用途 | CuまたはAl配線の保護膜(タッチパネル、TFT等) |
種類 | スパッタリングターゲット |
特長 |
耐食性・エッチング性 保護膜としてCuまたはAl配線の耐食性を向上させます。 ![]() ターゲット材外観 NCT保護膜(本製品) ![]() Mo保護膜(比較用) ![]() 環境試験:85℃、85RH、500時間後 |
使用例 |
タッチパネル引出配線 ![]() 引出配線の膜構成例(断面)
![]() 単層パターニングサンプル
(最小線幅2μm) |
製品紹介 | 電気製鋼第89巻2号 車載向けタッチパネルに適した配線保護膜用ターゲット材(NCT)(PDF:1,233KB) |
黒化膜用ターゲット材「STARMESH®-α1」(スターメッシュ・アルファワン)
用途 | CuまたはAl配線・メタルメッシュ電極の黒化膜(タッチパネル・TFT等) |
種類 | スパッタリングターゲット |
特長 |
低反射、エッチング性 CuまたはAl配線と組み合わせることで、配線の反射率を低減できます。 ![]() ターゲット材外観
![]() パターニングサンプル
(最小線幅3μm) ![]() 反射率
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使用例 |
タッチパネルのメタルメッシュ電極 ![]() ![]() メタルメッシュ電極の膜構造例(断面)
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製品紹介 | 電気製鋼第86巻2号 メタルメッシュ用スパッタリングターゲット材(PDF:466KB) |
【新商品】黒化膜用ターゲット材「STARMESH®-β1」(スターメッシュ・ベータワン)
用途 | CuまたはAl配線・メタルメッシュ電極の黒化膜(タッチパネル・TFT等) |
種類 | スパッタリングターゲット |
特長 |
低反射、高信頼性 CuまたはAl配線と組み合わせることで、配線の反射率を低減できます。 ![]() ターゲット材外観
![]() 反射率
![]() 信頼性
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使用例 |
タッチパネルのメタルメッシュ電極 ![]() ![]() メタルメッシュ電極の膜構造例(断面)
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製品紹介 | 電気製鋼92第2号 次世代自動車のタッチパネルに適したメタルメッシュ黒化膜用ターゲット材 STARMESH®-β1(PDF:1,062KB) |