薄膜ターゲット
薄膜ターゲット
薄膜ターゲットとは

工具、金型、FPD、半導体など幅広い分野に、スパッタリングや蒸着法など薄膜形成方法に応じた材料を提供します。

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オリジナル製品(ディスプレイ用)

タッチパネル・ディスプレイ用に市場ニーズに合わせたオリジナル製品を提供しています。
当社の成膜機を使った試作や、成膜サンプルの提供もいたします。

保護膜用ターゲット材「NCT」(エヌ・シー・ティー)

用途 CuまたはAl配線の保護膜(タッチパネル、TFT等)
種類 スパッタリングターゲット
特長

耐食性・エッチング性

保護膜としてCuまたはAl配線の耐食性を向上させます。
市販の薬液を用いて配線と一括エッチング可能です。
また窒化膜にすることで拡散防止性、密着性向上が可能です。


ターゲット材外観

ターゲット材外観

NCT保護膜(本製品)

NCTバリア膜(本製品)

Mo保護膜(比較用)

Moバリア膜(比較用)

環境試験:85℃、85RH、500時間後

使用例

タッチパネル引出配線

引出配線の膜構成例(断面)
単層パターニングサンプル
(最小線幅2μm)
製品紹介 電気製鋼第89巻2号 車載向けタッチパネルに適した配線保護膜用ターゲット材(NCT)(PDF:1,233KB)

黒化膜用ターゲット材「STARMESH®-α1」(スターメッシュ・アルファワン)

用途 CuまたはAl配線・メタルメッシュ電極の黒化膜(タッチパネル・TFT等)
種類 スパッタリングターゲット
特長

低反射、エッチング性

CuまたはAl配線と組み合わせることで、配線の反射率を低減できます。
市販の薬液を用いて配線と一括エッチング可能です。

ターゲット材外観
ターゲット材外観
パターニングサンプル(最小線幅10μm)
パターニングサンプル
(最小線幅3μm)
反射率
反射率
使用例

タッチパネルのメタルメッシュ電極

メタルメッシュ電極の膜構造例(断面)
製品紹介 電気製鋼第86巻2号 メタルメッシュ用スパッタリングターゲット材(PDF:466KB)

【新商品】黒化膜用ターゲット材「STARMESH®-β1」(スターメッシュ・ベータワン)

用途 CuまたはAl配線・メタルメッシュ電極の黒化膜(タッチパネル・TFT等)
種類 スパッタリングターゲット
特長

低反射、高信頼性

CuまたはAl配線と組み合わせることで、配線の反射率を低減できます。
車載向け電子部品を想定した環境試験でも色や導電性の変化がありません。

ターゲット材外観
ターゲット材外観
反射率
反射率
信頼性
信頼性
使用例

タッチパネルのメタルメッシュ電極

メタルメッシュ電極の膜構造例(断面)
製品紹介 プレスリリース 高信頼性のメタルメッシュ黒化膜用ターゲット材「STARMESH®-β1」を発売

薄膜ターゲット

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(土日祝、年末年始除く)
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