オリジナル製品(ディスプレイ用)
タッチパネル・ディスプレイ用に市場ニーズに合わせたオリジナル製品を提供しています。
当社の成膜機を使った試作や、成膜サンプルの提供もいたします。
【新商品】黒化膜用ターゲット材「STARMESH®-γ1」(スターメッシュ・ガンマワン)
| 用途 | CuまたはAl配線・メタルメッシュ電極の黒化膜（タッチパネル・TFT等） |
| 種類 | スパッタリングターゲット |
| 特長 |
低反射、高信頼性、エッチング性 CuまたはAl配線と組み合わせることで、配線の反射率を低減できます。 ターゲット材外観
反射率
変色耐性
エッチング条件
エッチング液：塩化第二鉄(1.5 wt%) 温度 ：35℃ 浸漬時間 ：40s (静止) 
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| 使用例 |
タッチパネルのメタルメッシュ電極 
メタルメッシュ電極の膜構造例(断面)
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| 用途例 |
タッチパネル用途：車載用タッチパネル、大型タッチパネル、曲面タッチパネル |
| 製品紹介 | 技報「電気製鋼 第93巻(2022) No.2」変色耐性・エッチング性に優れたメタルメッシュ黒化膜用ターゲット材STARMESH®-γ の開発(PDF:2,444KB) |
保護膜用ターゲット材「NCT」(エヌ・シー・ティー)
| 用途 | CuまたはAl配線の保護膜(タッチパネル、TFT等) |
| 種類 | スパッタリングターゲット |
| 特長 |
耐食性・エッチング性 保護膜としてCuまたはAl配線の耐食性を向上させます。 
ターゲット材外観 NCT保護膜(本製品) 
Mo保護膜(比較用) 
環境試験：85℃、85RH、500時間後 |
| 使用例 |
タッチパネル引出配線 
引出配線の膜構成例(断面)
単層パターニングサンプル
(最小線幅2μm) |
| 製品紹介 | 電気製鋼第89巻2号 車載向けタッチパネルに適した配線保護膜用ターゲット材(NCT)(PDF:1,233KB) |
黒化膜用ターゲット材「STARMESH®-α1」(スターメッシュ・アルファワン)
| 用途 | CuまたはAl配線・メタルメッシュ電極の黒化膜（タッチパネル・TFT等） |
| 種類 | スパッタリングターゲット |
| 特長 |
低反射、エッチング性 CuまたはAl配線と組み合わせることで、配線の反射率を低減できます。 
ターゲット材外観
パターニングサンプル
（最小線幅3μm） 
反射率
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| 使用例 |
タッチパネルのメタルメッシュ電極 
メタルメッシュ電極の膜構造例(断面)
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| 製品紹介 | 電気製鋼第86巻2号 メタルメッシュ用スパッタリングターゲット材(PDF:466KB) |
黒化膜用ターゲット材「STARMESH®-β1」(スターメッシュ・ベータワン)
| 用途 | CuまたはAl配線・メタルメッシュ電極の黒化膜（タッチパネル・TFT等） |
| 種類 | スパッタリングターゲット |
| 特長 |
低反射、高信頼性 CuまたはAl配線と組み合わせることで、配線の反射率を低減できます。 
ターゲット材外観
反射率
信頼性
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| 使用例 |
タッチパネルのメタルメッシュ電極
メタルメッシュ電極の膜構造例(断面)
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| 製品紹介 | 電気製鋼92第2号 次世代自動車のタッチパネルに適したメタルメッシュ黒化膜用ターゲット材 STARMESH®-β1(PDF:1,062KB) |
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